Được trang bị ba ống kính ở các độ phân giải khác nhau
kết quả bóng đá trực tiếp kiểm tra mẫu wafer có độ phân giải cao và năng suất cao
Được trang bị đầu kiểm tra độc quyền và công cụ xử lý hình ảnh tốc độ cao mới được phát triển, chúng tôi đã đạt được công suất xử lý xấp xỉ gấp đôi* so với mẫu trước đó Với việc tích hợp kết quả bóng đá trực tiếp kiểm tra toàn bộ bề mặt bằng cảm biến đường dây, các phân tích được thực hiện ở tốc độ không đổi bất kể kích thước hay số lượng chip, góp phần to lớn vào việc ổn định sản xuất
*So với mẫu ZI-3500
Thấu kính vật kính mới xác định và phân tích các khuyết tật vi mô từ 1μm trở xuống Được trang bị ba vật kính có độ phân giải khác nhau, ZI-3600 xử lý liền mạch việc chuyển đổi ống kính tự động trong quá trình kiểm tra kết quả bóng đá trực tiếp duy nhất này thực hiện được nhiều hoạt động kiểm tra lỗi từ lỗi vi mô đến lỗi vĩ mô
Các điều kiện kiểm tra có thể được thiết lập dễ dàng trong khi kiểm tra hình ảnh tấm bán dẫn thực tế, cho phép các kỹ sư chuyên gia cũng như người vận hành nói chung tạo ra các công thức nấu ăn Có sẵn cài đặt bổ sung các chức năng đo lường lớp phủ và kích thước quan trọng Các phép đo này có thể được thực hiện đồng thời trong quá trình kiểm tra chỉ bằng cách đặt các điều kiện khi xây dựng công thức

Trạm ướt
Bộ xử lý quay
Máy chà sàn quay
_Spin Scrubber(Bàn chải và hóa chất làm sạch)