1 Chuyển wafer đáng tin cậy bằng phương pháp cơ học

90phut trực tiếp bóng đá sử dụng hệ thống truyền đường dẫn đơn I-LINE Việc chuyển wafer ổn định đạt được bằng phương pháp chuyển cơ học chọn và đặt với hồ sơ theo dõi rõ ràng

2 Thích hợp cho nhiều loại tấm wafer hỗn hợp

90phut trực tiếp bóng đá phù hợp với SiC, GaN, LiTaO_³, và nhiều loại tấm bán dẫn hỗn hợp khác cũng như tấm bán dẫn silicon Nó có thể xử lý nhiều loại kích thước wafer từ 76 đến 200 mm

3 Buồng xử lý (MTC/DTC)

Buồng đa nhiệm
90phut trực tiếp bóng đá cũng có thể thực hiện làm sạch và ăn mòn bằng axit mạnh ở nhiệt độ cao

Buồng khô
Các tấm wafer được rửa bằng DIW, sau đó quay khô tốc độ cao

4 Thích hợp cho quá trình khắc kim loại

90phut trực tiếp bóng đá có thể thực hiện khắc với độ tái lập cao khi được trang bị cảm biến điểm cuối độc quyền SCREEN tùy chọn

5 GUI mới nâng cao khả năng sử dụng

90phut trực tiếp bóng đá có GUI mới và hệ thống điều khiển được cập nhật để vận hành đơn giản, trực quan

6 Các công cụ dọn dẹp tùy chọn mở rộng hơn nữa khả năng tương thích của thiết bị

Nanospray hoặc Softspray có sẵn dưới dạng công cụ làm sạch tùy chọn và cũng có thể lắp đặt chổi bề mặt để làm sạch sau CMP và các quy trình khác Do đó 90phut trực tiếp bóng đá có thể thực hiện nhiều quy trình làm sạch phù hợp với mục đích và ứng dụng