xem trực tiếp bóng đá Chất bán dẫnGiới thiệu về chất bán dẫn cho người mới bắt đầu

■Quy trình vệ sinh

Tiếp theo, rửa tấm wafer đã mua để loại bỏ bụi bẩn Tuy nhiên, bụi bẩn quá nhỏ nên không thể nhìn thấy bằng mắt thường (Các tấm wafer có vết bẩn nhìn thấy được không thể bán dưới dạng sản phẩm!) Các loại vết bẩn cần loại bỏ như sau

●Chỉ là rác rưởi

Bụi bám vào không khí bên ngoài của nhà máy khi các tấm bán dẫn được dỡ ra hoặc vận chuyển Kích thước tối đa là vài μm và kích thước tối thiểu nhỏ hơn 0,1 μm Trong ngành bán dẫn, những hạt nhỏ này thường được gọi là “hạt”

●Ô nhiễm kim loại

Các phân tử natri chứa trong mồ hôi bốc hơi và một lượng nguyên tử kim loại nặng có trong dung dịch hóa học được sử dụng trong các nhà máy

●Ô nhiễm hữu cơ

Carbon có trong lông và bụi bẩn của con người, một lượng nhỏ phân tử carbon có trong dung dịch hóa học được sử dụng trong nhà máy, vv Ngoài ra, nếu có vi khuẩn trong đường ống nước tinh khiết, đây cũng có thể là một dạng ô nhiễm hữu cơ

●Dầu

Dầu có trong mồ hôi con người

●Màng oxit tự nhiên

Khi một tấm bán dẫn tiếp xúc với khí quyển, bề mặt của nó kết hợp với oxy trong khí quyển, tạo thành một màng oxit có kích thước từ 10 đến 20 nm (1/100000 đến 2 mm) Tuy nhiên, vì màng oxit này cũng chứa tạp chất từ ​​khí quyển nên nó được coi là một dạng ô nhiễm

○xem trực tiếp bóng đá bị vệ sinh

xem trực tiếp bóng đá bị làm sạch phổ biến nhất để loại bỏ các chất gây ô nhiễm này là Wet Station (một số công ty gọi là Wet Bench hoặc Auto Food) Trạm ướt là một xem trực tiếp bóng đá bị được lót bằng các thùng chứa hóa chất và nước tinh khiết Một số lượng lớn các tấm wafer (thường là 50 tấm wafer) được ngâm trong các bể này để hòa tan, trung hòa và rửa sạch các chất gây ô nhiễm, sau đó làm khô chúng

Trong một trạm ẩm thông thường, một loại chất lỏng hóa học có thể được sử dụng trong một bể nên khi loại bỏ nhiều chất gây ô nhiễm, nhiều bể chất lỏng hóa học được xếp thành hàng Ngoài ra, để ngăn chặn sự trộn lẫn của các loại dung dịch hóa chất, các bể chứa được bố trí theo dạng sau: “Dung dịch hóa chất A - Nước tinh khiết - Dung dịch hóa chất B - Nước tinh khiết - Dung dịch hóa chất C - Nước tinh khiết”

Ở cuối dây chuyền trạm ướt là bộ phận sấy wafer Có hai loại xem trực tiếp bóng đá bị sấy: máy sấy quay, sử dụng lực quay ly tâm để loại bỏ nước giống như cách máy giặt thực hiện và máy sấy hơi IPA, sử dụng khả năng bay hơi của cồn để làm bay hơi ẩm đồng thời IPA ở đây là viết tắt của "isopropyl Alcohol" và hơi nước có nghĩa là "hơi nước" trong tiếng Anh và phương pháp này hiện đang là phương pháp phổ biến

Ưu điểm của máy sấy quay là thời gian sấy ngắn Tuy nhiên, có những nhược điểm như tĩnh điện được tạo ra do ma sát giữa tấm bán dẫn quay và không khí, cũng như xu hướng rỉ sét silicon tạo thành hình nước (hình mờ trong thuật ngữ công nghiệp) trên tấm bán dẫn sau khi khử nước Mặt khác, mặc dù IPA không phải lo lắng về tĩnh điện hay hình mờ nhưng vẫn có nguy cơ khí cồn bốc cháy và gây cháy nên phải hết sức cẩn thận trong quá trình xem trực tiếp bóng đá kế và vận hành xem trực tiếp bóng đá bị

○Dọn dẹp kỹ càng

Về việc dọn dẹp, có nhiều cấp độ khác nhau Để làm sạch ngay trước quá trình tạo màng đòi hỏi độ sạch đặc biệt cao, "trạm ướt loại một bể" được sử dụng thay cho "trạm ướt loại nhiều bể" đã đề cập ở trên

Trạm ướt một bồn tắm là xem trực tiếp bóng đá bị thực hiện cả việc làm sạch bằng hóa chất và làm sạch bằng nước tinh khiết trong một bể Trong một trạm ẩm ướt điển hình, khi các tấm bán dẫn được chuyển giữa các bể chứa, có nguy cơ bề mặt của các tấm bán dẫn có thể tiếp xúc với một lượng nhỏ tạp chất trong không khí và bị ô nhiễm nhẹ Tuy nhiên, trạm ướt một bồn tắm, như trong sơ đồ bên phải, trước tiên làm sạch tấm bán dẫn bằng dung dịch hóa học, sau đó đẩy dung dịch hóa chất ra ngoài bằng nước tinh khiết rồi rửa sạch bằng nước, để tấm bán dẫn không tiếp xúc với khí quyển

Ở cuối dây chuyền trạm ướt là bộ phận sấy wafer Có hai loại xem trực tiếp bóng đá bị sấy: máy sấy quay, sử dụng lực quay ly tâm để loại bỏ nước giống như cách máy giặt thực hiện và máy sấy hơi IPA, sử dụng khả năng bay hơi của cồn để làm bay hơi ẩm đồng thời IPA ở đây là viết tắt của "isopropyl Alcohol" và hơi nước có nghĩa là "hơi nước" trong tiếng Anh và phương pháp này hiện đang là phương pháp phổ biến

Ngoài ra, trong quá trình sấy khô sau quá trình làm sạch nghiêm ngặt như vậy, phương pháp làm khô tấm bán dẫn trong khí nitơ đã trở nên phổ biến để ngăn tấm bán dẫn tiếp xúc với khí quyển và bị ô nhiễm

○Làm sạch hàng loạt và làm sạch tấm wafer đơn

xem trực tiếp bóng đá bị dạng trạm ướt làm sạch nhiều tấm bán dẫn cùng lúc được gọi là ``xem trực tiếp bóng đá bị làm sạch hàng loạt'' trong ngành Mặt khác, xem trực tiếp bóng đá bị làm sạch từng tấm bán dẫn được gọi là "xem trực tiếp bóng đá bị làm sạch tấm bán dẫn đơn"

Ưu điểm của xem trực tiếp bóng đá bị làm sạch theo mẻ là năng suất cao và chi phí xử lý trên mỗi tấm bán dẫn thấp Mặt khác, đặc điểm của xem trực tiếp bóng đá bị làm sạch wafer đơn là phù hợp cho sản xuất hỗn hợp cao, khối lượng thấp Ngoài ra, có một số quy trình làm sạch không thể được xử lý một cách tối ưu trừ khi mỗi tấm wafer được xử lý lần lượt Do đó, trong các nhà máy bán dẫn thực tế, người ta thường sử dụng phương pháp làm sạch theo đợt và làm sạch tấm bán dẫn đơn tùy thuộc vào chi phí và mục đích

○Bộ xử lý quay

xem trực tiếp bóng đá bị làm sạch tấm bán dẫn đơn phổ biến nhất là "bộ xử lý quay" Đây là xem trực tiếp bóng đá bị phun dung dịch hóa học hoặc nước tinh khiết lên các tấm wafer đang quay để làm sạch chúng Giống như trạm ướt, nó có thể được sử dụng với nhiều loại dung dịch hóa học khác nhau nên có phạm vi sử dụng rất rộng

○Công nghệ làm sạch mới

Cho dù làm sạch theo mẻ hay làm sạch tấm bán dẫn đơn lẻ, xem trực tiếp bóng đá bị làm sạch được sử dụng cho đến nay về cơ bản đều sử dụng phương pháp `` làm sạch tấm bán dẫn bằng dung dịch hóa học như axit hoặc nước tinh khiết'' Cơ sở cho kiểu làm sạch này được phát triển bởi công ty RCA của Mỹ vào khoảng năm 1970 và thường được gọi là ``công nghệ làm sạch RCA'' Tuy nhiên, vì phương pháp làm sạch này có tác động lớn đến môi trường nên ngành công nghiệp bán dẫn đã nỗ lực tích cực phát triển công nghệ làm sạch mới

Các công nghệ làm sạch mới hiện đang được xem xét bao gồm "làm sạch bằng nước chức năng" và "làm sạch bằng nước siêu tới hạn" “Làm sạch bằng nước chức năng” là công nghệ làm sạch tấm wafer bằng nước tinh khiết có chứa ozone thay vì axit Nếu điều này trở nên phổ biến, lượng chất thải có độc tính cao và ăn mòn sẽ giảm đi Mặt khác, ``làm sạch bằng nước siêu tới hạn'' là công nghệ làm sạch sử dụng hóa chất và nước tinh khiết đã được thêm carbon dioxide để giảm thiểu sức căng bề mặt của nó Khi các mạch bán dẫn ngày càng trở nên mịn hơn, vấn đề nảy sinh là sức căng bề mặt của nước trở thành vật cản, khiến cho việc làm sạch triệt để mọi ngóc ngách của mạch điện là không thể Giải pháp cho vấn đề này là nước siêu tới hạn, không có sức căng bề mặt Tuy nhiên, cả làm sạch bằng nước chức năng và làm sạch bằng nước siêu tới hạn vẫn còn nhiều vấn đề kỹ thuật và vấn đề chi phí, và việc sử dụng thực tế trên quy mô đầy đủ dự kiến ​​sẽ còn rất lâu mới đạt được

○xem trực tiếp bóng đá bị giặt khô

Việc làm sạch được mô tả cho đến nay sử dụng các chất lỏng như dung dịch hóa học và nước tinh khiết và chúng được gọi chung là "làm sạch ướt" Mặt khác, còn có một phương pháp gọi là "giặt khô", làm sạch bằng gas

Tuy nhiên, gần 99% phương pháp làm sạch hiện đang được sử dụng là phương pháp làm sạch ướt Ngoài ra, một trong số ít xem trực tiếp bóng đá bị giặt khô thực tế là ''xem trực tiếp bóng đá bị làm sạch pha hơi'' làm sạch bề mặt của tấm bán dẫn bằng hơi axit hydrofluoric xem trực tiếp bóng đá bị làm sạch này được giới hạn trong việc loại bỏ các màng oxit tự nhiên (màng cực mỏng được hình thành khi bề mặt của tấm bán dẫn bị oxy hóa khi tiếp xúc với oxy trong không khí hoặc nước) Màng oxit tự nhiên có thể được loại bỏ mà không cần sử dụng chất lỏng vì chúng biến đổi thành một số loại chất khí khi phản ứng với khí axit hydrofluoric