Trước và sau quá trình tạo màng, cần loại bỏ bụi nhỏ bám trên wafer
Một thiết bị gọi là "máy chà sàn" được sử dụng để loại bỏ và làm sạch bụi Đây là thiết bị làm sạch bề mặt của tấm wafer đang quay bằng bàn chải mềm Rửa sạch mọi vết bẩn mỏng manh được cạo bằng bàn chải bằng nước tinh khiết Các loại cọ bao gồm PVA và mohair, loại cọ sử dụng tùy thuộc vào loại màng trên bề mặt wafer
Ngoài ra, trong những năm gần đây, do các mạch kèo bóng đá trực tiếp hôm nay ngày càng được thu nhỏ, để tránh những hư hỏng nhỏ, ngày càng có nhiều sản phẩm không có chổi than và được sử dụng để loại bỏ các hạt bằng sóng siêu âm hoặc vòi phun hai chất lỏng (vòi phun trộn khí chảy nhanh với chất lỏng và sử dụng tác động mạnh giống như sương mù để làm sạch chúng)
